干式真空泵的主要應用

　　干式真空泵作為目前發展趨勢較好的一種泵類，在使用過程中具備非常優異的使用優勢，從而在很多應用場合達到了理想的使用效果，具體應用在：
　　1、用于低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中；
　　2、干式真空泵用于半導體刻蝕工藝。在這些生產工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒；
　　3、除半導體工藝外的某些產生微粒的工藝，不希望微?；烊氡糜椭?，而希望微粒排出泵外，則用一定型式的干式真空泵可以滿足要求；
　　4、干式真空泵適用于化學工業、醫藥工業、食品工業中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，防止了有機溶劑造成污染；
　　5、用做一般無油清潔真空系統的前級泵，以防止油污染。
　　干式真空泵在以上應用中可以做到維護少，省時省力，同時也減少了污染的危害的使用特性，從而深受廣大用戶的歡迎，具備較好的發展趨勢。
　　改：2020.3.5